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微電子潔凈車間建設(shè)工程施工方案

發(fā)布時(shí)間:2023-08-17
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       潔凈車間是微電子生產(chǎn)過程中不可或缺的一環(huán),它能夠提供潔凈、無塵的工作環(huán)境,確保微電子產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。本文將為您介紹微電子潔凈車間建設(shè)工程安裝解決方案,幫助您打造理想的生產(chǎn)環(huán)境。


微電子無塵車間建設(shè)


一、微電子潔凈車間的選材

1. 地板材料:潔凈車間地面要求平整、無塵、易清潔和抗靜電。常用的地板材料包括環(huán)氧樹脂地板、PVC地板和防靜電地板等。這些材料具有耐腐蝕、防滑、抗靜電等特性,且易于清潔。

2. 墻面材料:潔凈車間的墻面要求無塵、易清潔和抗靜電。常用的墻面材料包括環(huán)氧砂漿涂料、不銹鋼板和聚氨酯板等。這些材料具有耐腐蝕、抗菌、易清潔等特性,且能夠滿足潔凈度要求。

3. 天花板材料:潔凈車間的天花板要求無塵、易清潔和抗靜電。常用的天花板材料包括鋁合金天花板、石膏板和不銹鋼板等。這些材料具有防潮、防火、易清潔等特性,且能夠滿足潔凈度要求。

4. 隔斷材料:潔凈車間內(nèi)的隔斷需要具備隔音、防火、防塵和易清潔等特性。常用的隔斷材料包括巖棉板、硅酸鹽板和鋁合金型材等。這些材料具有隔音、隔熱、防火等特性,且能夠滿足潔凈度要求。

5. 管道材料:潔凈車間內(nèi)的管道需要選擇耐腐蝕、防靜電和易清潔的材料。常用的管道材料包括不銹鋼管、聚氯乙烯管和聚丙烯管等。這些材料具有耐腐蝕、抗靜電、易清潔等特性,且能夠滿足潔凈度要求。

二、微電子潔凈車間空調(diào)工程

1. 溫濕度控制:微電子潔凈車間對(duì)溫濕度的控制要求非常嚴(yán)格,通常要求在一定范圍內(nèi)維持恒定的溫度和濕度??照{(diào)系統(tǒng)應(yīng)采用精密的溫濕度控制設(shè)備,并結(jié)合恰當(dāng)?shù)臐穸日{(diào)節(jié)裝置,以確保車間內(nèi)的溫濕度達(dá)到要求。

2. 空氣過濾:潔凈車間要求空氣中的微塵、微生物和有害氣體等污染物濃度控制在較低水平。空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)配備高效的過濾器,如HEPA過濾器,以過濾空氣中的微粒和微生物。此外,還可以考慮使用活性炭過濾器來吸附有害氣體。

3. 空氣循環(huán):潔凈車間的空氣循環(huán)要求均勻、穩(wěn)定,以避免死角和局部溫度差異??照{(diào)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)計(jì)合理的送風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng),確??諝庠谲囬g內(nèi)的流動(dòng)均勻,并避免形成死角。

4. 靜壓控制:潔凈車間要求空氣壓差控制在一定范圍內(nèi),以避免外部空氣和污染物進(jìn)入車間??照{(diào)系統(tǒng)應(yīng)配備靜壓控制裝置,如空調(diào)末端靜壓控制裝置,以確保車間內(nèi)的正壓或負(fù)壓狀態(tài)。

5. 供冷供熱:潔凈車間的空調(diào)系統(tǒng)需要能夠提供穩(wěn)定的供冷和供熱能力,以滿足車間內(nèi)的溫度要求??刹捎弥醒肟照{(diào)系統(tǒng)或分散式空調(diào)系統(tǒng),根據(jù)車間的具體需求選擇合適的供冷供熱設(shè)備。

6. 能效和節(jié)能:考慮到能源成本和環(huán)境保護(hù),空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)計(jì)為高效節(jié)能的方案。可以采用變頻調(diào)速技術(shù)、定時(shí)開關(guān)機(jī)等措施,以提高空調(diào)系統(tǒng)的能效和節(jié)能性能。


微電子潔凈車間建設(shè)


三、微電子潔凈車間凈化標(biāo)準(zhǔn)

1. 顆粒物濃度:根據(jù)不同級(jí)別的潔凈度要求,對(duì)空氣中的顆粒物濃度有嚴(yán)格的限制。常見的凈化級(jí)別包括ISO 14644-1中的Class 1~Class 9,Semi S2標(biāo)準(zhǔn)中的Class 1~Class 3等。

2. 微生物限制:對(duì)空氣中的微生物濃度也有一定的限制。根據(jù)ISO 14698標(biāo)準(zhǔn),常用的微生物限制級(jí)別包括Grade A(操作區(qū))和Grade B(輔助區(qū))。

3. 溫濕度控制:微電子潔凈車間通常對(duì)溫度和濕度有嚴(yán)格的要求,以保證生產(chǎn)和工藝的穩(wěn)定性。具體的溫濕度范圍根據(jù)實(shí)際情況和工藝要求而定,但通常要求在一定范圍內(nèi)保持恒定。

4. 靜壓控制:在潔凈車間內(nèi),通常需要通過靜壓控制來確??諝饬飨蛘_,防止外界污染物進(jìn)入。根據(jù)不同級(jí)別的潔凈度要求,對(duì)靜壓差也有一定的限制。

5. 其他要求:除了上述凈化標(biāo)準(zhǔn),微電子潔凈車間還可能有其他特殊要求,如噪音限制、振動(dòng)控制、氣味控制等。


合景凈化工程公司


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