半導(dǎo)體潔凈車間建設(shè)重點(diǎn)：潔凈室溫濕度監(jiān)控

       半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是國民經(jīng)濟(jì)基礎(chǔ)性支柱產(chǎn)業(yè)。因此，現(xiàn)代化半導(dǎo)體的生產(chǎn)對(duì)環(huán)境要求非常嚴(yán)格，工廠要在全年四季的氣候條件下，生產(chǎn)車間內(nèi)部要求維持穩(wěn)定的環(huán)境，特別是對(duì)于生產(chǎn)環(huán)境的溫度、濕度、空氣潔凈度、氣流組織，壓力平衡等多個(gè)空調(diào)參數(shù)都提出了嚴(yán)格的要求。由于電子產(chǎn)品對(duì)靜電的敏感性和高濕度環(huán)境對(duì)其品質(zhì)的影響，其對(duì)濕度的精度以及空調(diào)系統(tǒng)的配置都要嚴(yán)格把控。

       空氣除溫主要有四種方式，通風(fēng)除濕、冷卻除濕、液體吸濕劑除遏和固體吸附劑除濕。在空調(diào)除濕系統(tǒng)中，冷卻除濕和固體吸附劑除濕是主要手段。冷卻除濕在環(huán)境對(duì)濕度要求不是很高(RH60~65%)的條件下，效果還是比較好，性能穩(wěn)定且能耗也比較低，目前應(yīng)用比較廣泛。但在生產(chǎn)環(huán)境對(duì)濕度要求較高(RH=455%)的地方，采用冷卻除濕就明顯是不經(jīng)濟(jì)的。采用轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)，將不受空氣露點(diǎn)影響，且除濕星大，特別適用于低濕條件下，但如果全部除濕僅采用固態(tài)吸附原理的轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)進(jìn)行，由于其再生耗能量也比較大，此種方案也不是最經(jīng)濟(jì)的。由于轉(zhuǎn)輪除濕和冷卻除濕各有所長，將其優(yōu)化組合，各取所長，互補(bǔ)所短，會(huì)更好的發(fā)揮其效能。

       半導(dǎo)體生產(chǎn)行業(yè)的溫濕度條件為:T=22±2℃C，RH=45±5%;而對(duì)于這個(gè)溫濕度要求，傳統(tǒng)上經(jīng)常采用冷凍除濕+后加熱(再熱〉方式進(jìn)行處理，并取得了一定成果。但這種方式卻存在著一個(gè)致命問題，冷熱的抵消和能耗的巨大浪費(fèi)，特別是由于半導(dǎo)體行業(yè)的大新風(fēng)，大排風(fēng)系統(tǒng)、生產(chǎn)環(huán)境為大空間潔凈環(huán)境以及目前許多廠主要集中分布在華南和華東地區(qū)的特殊情況，使得這個(gè)問題十分突出。

       因此，在最新的許多半導(dǎo)體廠房的空調(diào)系統(tǒng)開始使用新風(fēng)通過新風(fēng)機(jī)組(冷卻除濕)和轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)聯(lián)合處理濕度、溫度而后通過后空調(diào)機(jī)組處理的組合方式，達(dá)到室內(nèi)逆風(fēng)溫、濕度要求，并取得了顯著收益。

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