半導(dǎo)體車間凈化潔凈度級別及標(biāo)準(zhǔn)

       半導(dǎo)體凈化車間潔凈度等級標(biāo)準(zhǔn)及要求半導(dǎo)體特性決定其制造過程必須有潔凈度要求，環(huán)境中雜質(zhì)對半導(dǎo)體的特性有著改變或破壞其性能的作用，而雜質(zhì)各式各樣，如金屬離子會破壞半導(dǎo)體器件的導(dǎo)電性能，塵埃粒子破壞半導(dǎo)體器件的表面結(jié)構(gòu)等，所以在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中對什么都須嚴(yán)格控制。針對這個問題，合景凈化工程公司有著自己的專業(yè)技術(shù)和行業(yè)經(jīng)驗，服務(wù)了眾多行業(yè)頭部企業(yè)，經(jīng)過合景凈化接手的全國各地廠房建設(shè)均獲得了優(yōu)質(zhì)工程建設(shè)的榮譽。

       在半導(dǎo)體制造業(yè)中，由于其昂貴設(shè)備的min感性和制造過程的復(fù)雜性，工廠的布局變得不可以輕易更改，初始的不合理布局結(jié)果會導(dǎo)致龐大的物料搬運成本、無效的生產(chǎn)以及重新布局時所需要的大量成本。特別是迅速發(fā)展的亞微米工藝對生產(chǎn)場所空氣潔凈度要求特別高，所有半導(dǎo)體制程設(shè)備都須安置在隔絕粉塵進(jìn)入的密閉空間中，這樣，工廠投產(chǎn)以后整體生產(chǎn)系統(tǒng)才能發(fā)揮大的生產(chǎn)效能。

       半導(dǎo)體器件生產(chǎn)環(huán)境按單位體積重規(guī)定的塵埃粒子數(shù)標(biāo)準(zhǔn)分成潔凈度的等級。一般分為：10級、100級、1000級、10000級、100000級，國際標(biāo)準(zhǔn)IOS14644-1、國標(biāo)GB50073-2013、美聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)中均有規(guī)定潔凈室和潔凈區(qū)內(nèi)空氣以大于或等于被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進(jìn)行劃分的等級標(biāo)準(zhǔn)。

       電子產(chǎn)品性能、質(zhì)量的提高和生產(chǎn)過程的微細(xì)化，日益要求生產(chǎn)環(huán)境具有一定的空氣潔凈度級別和控制凈化車間內(nèi)工藝生產(chǎn)所需的各類高純物質(zhì)的供給質(zhì)量，目前國內(nèi)外還沒有統(tǒng)一電子產(chǎn)品的空氣潔凈度等級或生產(chǎn)環(huán)境控制要求的統(tǒng)一 規(guī)定，各種電子產(chǎn)品的生產(chǎn)廠家依據(jù)其生產(chǎn)的產(chǎn)品品種、所采用的生產(chǎn)工藝技術(shù)、生產(chǎn)工藝設(shè)備、生產(chǎn)用原輔料以及凈化車間運行的實踐經(jīng)驗確定設(shè)計建造凈化車間的空氣潔凈度級別等級（如下表格）。