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  • 半導(dǎo)體晶圓廠潔凈車間設(shè)計建設(shè)布局指標(biāo)要點
    半導(dǎo)體晶圓廠潔凈車間設(shè)計建設(shè)布局指標(biāo)要點
    2022-02-21
    潔凈車間最主要的作用就在其能控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)。在晶圓車間中,為了解決晶圓測試中良率不佳、測試結(jié)果不穩(wěn)定,探針測試卡的損毀及晶圓的報廢這些問題,潔凈室及輔助室的設(shè)計就該是廠區(qū)建設(shè)的首要任務(wù)之一
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    標(biāo)簽: 晶圓廠潔凈車間
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