2021-10-29
半導(dǎo)體凈化車間設(shè)計(jì)范圍包括:裝修方案(圍護(hù)、地面防水保溫處理),暖通方案(空調(diào)設(shè)備、風(fēng)管、水管等),特氣供應(yīng)方案(特氣柜含保險(xiǎn)控制、房間氣體檢測、EP級(jí)管道及BA及管道。供應(yīng)氣管尾氣處理),壓縮空氣方案,廢氣處理方案(儀器設(shè)備POU處理、房間排風(fēng)廢氣處理)電氣方案(空調(diào)設(shè)備動(dòng)力配電等),弱點(diǎn)工程,集成控制智能平臺(tái),純水方案(冷卻水、去離子水、超純水、水管等),廢氣處理。
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